EJA系列压力/差压变送器是日本横河电机株式会社九十年代中期**推出的产品,率先采用真正的数字化传感器—单晶硅谐振式传感器,开创了变送器的新时代,产品具有更高的精度、稳定性、可靠性,自推向市场,深受各界好评。为迎接现场总线时代的来临,我们已推出经基金会测试认证的符合FF标准的现场总线变送器。
二、**的工作原理
图1硅谐振梁的结构
采用微电子加工技术(MEMS)在一个单晶硅芯片表面的中心和边缘制作两个形状、尺寸、材质完全一致的H形状的谐振梁,谐振梁在自激振荡回路中作高频振荡(如图1)。单晶硅片的上下表面受到的压力不等时,将产生形变,导致中心谐振梁因压缩力而频率减小,边缘谐振因受拉伸力而频率增加(如图2)。
两频率之差信号直接送到CPU进行数据处理,然后(1)经D/A转换成4-20mA输出信号,通讯时叠加Brain或Hart数字信号;(2)直接输出符合现场总线(FieldbusFoundationTM)标准的数字信号。
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